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Conception Et Realisation de References de Tensions a Base de Mems

Francois Blard

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ISBN 10: 383817996X / ISBN 13: 9783838179964
Published by Presses Academiques Francophones
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168 pages. Dimensions: 8.7in. x 5.9in. x 0.4in.Les systmes microlectromcaniques (MEMS) sont dexcellents candidats pour la mtrologie lectrique. En effet, grce au couplage lectromcanique dans les MEMS, il est possible de raliser des rfrences secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques volts quelques centaines de volts avec des stabilits relatives pouvant atteindre quelques 10-7. Celles-ci peuvent alors tre une alternative aux actuelles rfrences Zener dans le cas de la tension continue, et constitueront une premire pour la tension alternative puisque aucune rfrence nexiste hormis celle base sur leffet Josephson. Ce travail de thse a t ddi au dveloppement et la fabrication de plusieurs gnrations de structures MEMS capacit lectrique variable dans lesquelles on exploite le phnomne du pull-in pour raliser des rfrences de tension AC. This item ships from multiple locations. Your book may arrive from Roseburg,OR, La Vergne,TN. Bookseller Inventory # 9783838179964

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Bibliographic Details

Title: Conception Et Realisation de References de ...

Publisher: Presses Academiques Francophones

Binding: Paperback

Book Condition:New

Book Type: Paperback

About this title

Synopsis:

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont d’excellents candidats pour la métrologie électrique. En effet, grâce au couplage électromécanique dans les MEMS, il est possible de réaliser des références secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques volts à quelques centaines de volts avec des stabilités relatives pouvant atteindre quelques 10-7. Celles-ci peuvent alors être une alternative aux actuelles références Zener dans le cas de la tension continue, et constitueront une première pour la tension alternative puisque aucune référence n’existe hormis celle basée sur l’effet Josephson. Ce travail de thèse a été dédié au développement et à la fabrication de plusieurs générations de structures MEMS à capacité électrique variable dans lesquelles on exploite le phénomène du pull-in pour réaliser des références de tension AC.

About the Author:

J’ai réalisé une thèse en microélectronique et métrologie soutenue à Toulouse en 2011 sous la direction d’Henri Camon et d’Alexandre Bounouh. Suite à ces travaux, j’ai travaillé un an chez Freescale semiconducteur en tant qu’ingénieur process. Actuellement je travaille au CEA sur la conception de MEMS pour la réalisation de capteurs de pression.

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