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Etude Des Mecanismes de Croissance Catalyses Des Nanofils de Silicium

Fabrice Oehler

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ISBN 10: 6131552290 / ISBN 13: 9786131552298
Published by Editions Universitaires Europeennes
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236 pages. Dimensions: 8.7in. x 5.9in. x 0.5in.Les nanofils de silicium prsentent un fort potentiel technologique, qui ne se rvle que lorsque la taille des objets est bien matrise. Lobtention de ces structures par Dpt Chimique en phase Vapeur est ralise par croissance catalyse partir de prcurseurs du silicium chlors ou hydrogns. On dtaille ici les effets du chlore sur la passivation des surfaces de silicium et des flancs des nanofils. Cette passivation ralentit la diffusion du catalyseur (Au) sur la surface mais ne change pas la cintique de la croissance (axiale) du fil. On obtient ainsi une croissance reproductible et stable de nanofils notamment pour les diamtres suprieurs 20 nm. Leffet du chlore est galement visible sur les flancs des nanofils, o les facettes voluent plus ou moins vite selon la vitesse de croissance radiale. La passivation de la surface des nanofils permet donc la stabilisation de leur croissance et le contrle de leur morphologie. This item ships from multiple locations. Your book may arrive from Roseburg,OR, La Vergne,TN. Bookseller Inventory # 9786131552298

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Bibliographic Details

Title: Etude Des Mecanismes de Croissance Catalyses...

Publisher: Editions Universitaires Europeennes

Binding: Paperback

Book Condition:New

Book Type: Paperback

About this title

Synopsis:

Les nanofils de silicium présentent un fort potentiel technologique, qui ne se révèle que lorsque la taille des objets est bien maîtrisée. L'obtention de ces structures par Dépôt Chimique en phase Vapeur est réalisée par croissance catalysée à partir de précurseurs du silicium chlorés ou hydrogénés. On détaille ici les effets du chlore sur la passivation des surfaces de silicium et des flancs des nanofils. Cette passivation ralentit la diffusion du catalyseur (Au) sur la surface mais ne change pas la cinétique de la croissance (axiale) du fil. On obtient ainsi une croissance reproductible et stable de nanofils notamment pour les diamètres supérieurs à 20 nm. L'effet du chlore est également visible sur les flancs des nanofils, où les facettes évoluent plus ou moins vite selon la vitesse de croissance radiale. La passivation de la surface des nanofils permet donc la stabilisation de leur croissance et le contrôle de leur morphologie.

About the Author:

Après un master en physique, je me suis dirigé vers la synthèse de nano-objets par Depot Chimique en phase Vapeur (CVD). Lors de ma thèse j'ai étudié plus en détail les nanofils de silicium et les interactions entre les phases gaz et condensées lors d'une étape de dépot par CVD.

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