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Mechanical Reconstruction of an Industrial 915mhz Microwave Cavity Plasma Reactor System for Chemical Vapor Deposition Diamond Processes

Jrg Fricke

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ISBN 10: 3838675886 / ISBN 13: 9783838675886
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Paperback. 114 pages. Dimensions: 10.4in. x 7.4in. x 0.3in.Diplomarbeit, die am 03. 11. 2003 erfolgreich an einer Technische Fachhochschule in Deutschland im Fachbereich IngenieurwesenWirtschaftsingenieurwesen eingereicht wurde. Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den mglichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit beschftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), fr die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich ber den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsmglichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserkhlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige nderungen) analysiert und Lsungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von Khlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem Khlaggregat und Gaskhlstrmen, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergrenskala und adquate Systemparameterwahl erlutert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u. a. ) wurden die Teilsysteme auf This item ships from multiple locations. Your book may arrive from Roseburg,OR, La Vergne,TN. Bookseller Inventory # 9783838675886

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Bibliographic Details

Title: Mechanical Reconstruction of an Industrial ...

Publisher: Grin Verlag

Binding: Paperback

Book Condition:New

Book Type: Paperback

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Synopsis:

Diplomarbeit, die am 03.11.2003 erfolgreich an einer Technische Fachhochschule in Deutschland im Fachbereich Ingenieurwesen/Wirtschaftsingenieurwesen eingereicht wurde. Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den m?glichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit besch?ftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), f?r die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich ?ber den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsm?glichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserk?hlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige ?nderungen) analysiert und L?sungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von K?hlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem K?hlaggregat und Gask?hlstr?men, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergr??enskala und ad?quate Systemparameterwahl erl?utert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u.a.) wurden die Teilsysteme auf

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