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Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten (IPA-IAO - Forschung und Praxis) (German Edition)

Jochen Schlie├čer

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ISBN 10: 3540655603 / ISBN 13: 9783540655602
Published by Springer, 1999
Condition: Good Soft cover
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Bibliographic Details

Title: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur ...

Publisher: Springer

Publication Date: 1999

Binding: Paperback

Book Condition:Good

Edition: illustrated edition.

About this title

Synopsis:

Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke- schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter- sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions- bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.

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