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Book Description PAP. Condition: New. New Book. Shipped from UK. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. Seller Inventory # L0-9786131527296
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Book Description PF. Condition: New. Seller Inventory # 6666-IUK-9786131527296
Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. Seller Inventory # 9786131527296
Book Description Condition: New. Seller Inventory # ABLIING23Apr0316110200369
Book Description Condition: New. Seller Inventory # 5794981
Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. Seller Inventory # 9786131527296
Book Description PAP. Condition: New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 4 to 14 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. Seller Inventory # L0-9786131527296