Advanced Gate Stacks for High-Mobility Semiconductors
Language: English
Published by Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Nov 2007, 2007
Series: Book 13 of 72 - Springer Series in Advanced Microelectronics
- Hardcover
- New
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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -This book provides a comprehensive monograph on gate stacks in semiconductor technology. It covers the major latest developments and basics and will be useful as a reference work for researchers, engineers and graduate students alike. The reader will get a clear view of what has been done so far, what is the state-of-the-art and which are the main challenges ahead before we come any closer to a viable Ge and III-V MOS technology.Springer-Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 408 pp. Englisch.
Seller Inventory # 9783540714903
- Title
- Advanced Gate Stacks for High-Mobility Semiconductors
- Author
- Athanasios Dimoulas
- Publisher
- Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Nov 2007
- Publication year
- 2007
- Condition
- Neu
- Binding
- Buch
- Language
- English
- ISBN 10
- 3540714901
- ISBN 13
- 9783540714903
- Item weight
- 776 grams
- Dimensions
- 241x160x27 mm
- Series
- Book 13 of 72: Springer Series in Advanced Microelectronics
This book provides a comprehensive monograph on gate stacks in semiconductor technology. It covers the major latest developments and basics and will be useful as a reference work for researchers, engineers and graduate students alike. The reader will get a clear view of what has been done so far, what is the state-of-the-art and which are the main challenges ahead before we come any closer to a viable Ge and III-V MOS technology.
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About the Author
Dr. Dimoulas obtained his Ph.D in Applied Physics from the University of Crete and the Foundation for Research &Technology-Hellas (FORTH), Greece in 1991 for his research on heteroepitaxial strain of III-V semiconductors grown on Si by MBE. He worked in the Microelectronics Research Group of FORTH until 1992. He was Human Capital & Mobility Fellow of the EU at the University of Groningen, Holland until 1994, a Research Fellow at the California Institute of Technology (CALTECH), Chemical Engineering, Pasadena USA until1996 and member of the Faculty at the University of Maryland at College Park (UMCP) USA, until February 1999. In addition, he has been visiting research scientist at NRL, Washington DC in 1992 and at IBM Zurich Research Laboratory, Switzerland in 2006. Since 1999, he is research director and head of the MBE laboratory at the Institute of Materials Science of the National Center for Scientific Research DEMOKRITOS, Athens, Greece. He is leading several European-funded projects in the areas of advanced microelectronic materials and devices. He has co-author more than 80 publications in international journals, archives and proceedings, and has also written book chapters. He has given 15 invited presentations during the last five years. He has been involved in the organization of several conferences and workshops either as the main organizer or as a member of advisory and program committees. Finally, he is reviewer in recognized International Journals and evaluator of research and development projects. His expertise includes MBE growth of Semiconductor and dielectric materials (high-k oxides), nanodevice processing by e-beam lithography and materials characterization and device electrical testing. His current interests focus on advanced high-k gate stacks for Ge and III-V MOS technology
Dr. Evgeni Gusev received his MS (Applied Physics/Molecular Physics) and PhD (Solid State Physics) from Moscow Engineering Physics Institute – TechnicalUniversity in 1988 and 1991. In 1993, he joined Laboratory for Surface Modifications at Rutgers University, first as a PostDoctoral Fellow and then as a Research Assistant Professor, where he established a program on fundamental aspects of gate dielectrics. In 1997, following the invitation by Prof. Masataka Hirose, he held an appointment of Visiting Professor in the Center for Nanodevices and Systems in Hiroshima University, Japan. Shortly after that he moved to IBM, where he was responsible for several projects on gate stack processing, characterization, and FEOL device integration (starting from 0.25um CMOS to 32 nm devices more recently) in both IBM Semiconductor Research and Development Center (SRDC) in East Fishkill (NY) and IBM T.J. Watson Research Center in Yorktown Heights (NY). In July 2005, he joined QUALCOMM MEMS Technology Development Center in San Jose as the Director of Research and Development. Since 2004, he is also a Distinguished Visiting Professor at Rutgers University. Dr. Gusev has contributed to the technical R&D community with 10 edited books, more than 150 publications and 20 issued and filed patents on various aspects of semiconductor devices and technology. He is a member of several international professional committees, panels and societies.
Professor Paul McIntyre is Associate Professor of Materials Science and Engineering and Deputy Director of the Geballe Laboratory for Advanced Materials at Stanford University. McIntyre leads a research team of fourteen graduate students, three visiting scientists, and two consulting professors who perform basic research on nanostructured inorganic materials for applications in electronics, energy technologies and sensors. He is best known for his work on metal oxide/semiconductor interfaces, ultrathin high-k dielectrics, defects in complex metal oxide thin films, and nanostructured Si-Ge single crystals. His research team synthesizes materials, characterizestheir structures and compositions with a variety of advanced microscopies and spectroscopies, studies the passivation of their interfaces, and measures functional properties of devices. Their research is supported by several U.S. government agencies and major semiconductor manufacturers world-wide. McIntyre is an author of approximately 100 archival journal papers and inventor of 5 US patents, and has given over 60 invited presentations, plenary talks and tutorial lectures. He has received an IBM Faculty Award and Charles Lee Powell Foundation Faculty Scholarship in recognition of his group’s research. Prior to joining Stanford, McIntyre was a member of the technical staff in the Central Research Laboratories at Texas Instruments and he also served as Lab Director’s Fund Postdoctoral Fellow in the Materials Division at Los Alamos National Laboratory. He earned the Sc.D. from the Materials Science and Engineering department at MIT and the B.A.Sc. from the Materials Engineering department at the University of British Columbia (Canada). McIntyre is a technical advisor to Unity Semiconductor Corporation, and has been an invited member of government and industry panels studying future research needs in ceramic materials, metal oxide/semiconductor structures, nano-scale ferroelectrics and nano-electronics.
Professor Dr. Marc Heyns was born in Turnhout, Belgium, on November 16, 1956. He received the M.S. degree in Applied Sciences (Electronics) in 1979 from the Katholieke Universiteit Leuven, Belgium. In 1986 he received the Ph.D. degree, also from the Katholieke Universiteit Leuven, Belgium, with a thesis entitled: "Study of the charge trapping and degradation of thermally grown SiO2 layers". From 1979 to 1985 he held a fellowship from the National Fund for Scientific Research (NFWO) in the Laboratory for Physics and Electronics of Semiconductors of the K.U. Leuven. In January 1986 he joined IMEC where he became Department Director and ProgramDirector responsible for a research group working on ultra-clean processing technology, advanced high-k gate stacks, metal gates, epitaxial deposition of materials, environmentally benign processing and novel high-mobility substrate materials. He became an IMEC-Fellow in 2001 and a Professor at the Katholieke Universiteit Leuven in 2005. He has authored or co-authored more than 150 contributions in scientific journals and more than 500 papers at international conferences. His current research topics include novel high-k dielectric materials, advanced cleaning and surface preparation technology, epitaxy, novel devices made on high-mobility substrates such Ge and III/V compounds, nanowires and carbon nanotubes.
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Zur Wahrung der Widerrufsfrist reicht es aus, dass Sie die Mitteilung über die Ausübung des Widerrufsrechts vor Ablauf der Widerrufsfrist absenden.
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Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, haben wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschließlich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zusätzlichen Kosten, die sich daraus ergeben, dass Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene, günstigste Standardlieferung gewählt haben), unverzüglich und spätestens binnen 14 Tagen ab dem Tag zurückzuzahlen, an dem die Mitteilung über Ihren Widerruf dieses Vertrags bei uns eingegangen ist. Für diese Rückzahlung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie bei der ursprünglichen Transaktion eingesetzt haben, es sei denn, mit Ihnen wurde ausdrücklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen wegen dieser Rückzahlung Entgelte berechnet.
Wir können die Rückzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zurückerhalten haben oder bis Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zurückgesandt haben, je nachdem, welches der frühere Zeitpunkt ist.
Sie haben die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens binnen 14 Tagen ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an uns zurückzusenden oder zu übergeben. Die Frist ist gewahrt, wenn Sie die Waren vor Ablauf der Frist von 14 Tagen absenden.
Sie tragen die unmittelbaren Kosten der Rücksendung der Waren.
Sie müssen für einen etwaigen Wertverlust der Waren nur aufkommen, wenn dieser Wertverlust auf einen zur Prüfung der Beschaffenheit, Eigenschaften und Funktionsweise der Waren nicht notwendigen Umgang mit ihnen zurückzuführen ist.
Ausschluss- bzw. Erlöschensgründe
Das Widerrufsrecht besteht nicht bei Verträgen
- zur Lieferung von Waren, die nicht vorgefertigt sind und für deren Herstellung eine individuelle Auswahl oder Bestimmung durch den Verbraucher maßgeblich ist oder die eindeutig auf die persönlichen Bedürfnisse des Verbrauchers zugeschnitten sind;
- zur Lieferung von Waren, die schnell verderben können oder deren Verfallsdatum schnell überschritten würde;
- zur Lieferung alkoholischer Getränke, deren Preis bei Vertragsschluss vereinbart wurde, die aber frühestens 30 Tage nach Vertragsschluss geliefert werden können und deren aktueller Wert von Schwankungen auf dem Markt abhängt, auf die der Unternehmer keinen Einfluss hat;
- zur Lieferung von Zeitungen, Zeitschriften oder Illustrierten mit Ausnahme von Abonnement-Verträgen.
Das Widerrufsrecht erlischt vorzeitig bei Verträgen
- zur Lieferung versiegelter Waren, die aus Gründen des Gesundheitsschutzes oder der Hygiene nicht zur Rückgabe geeignet sind, wenn ihre Versiegelung nach der Lieferung entfernt wurde;
- zur Lieferung von Waren, wenn diese nach der Lieferung aufgrund ihrer Beschaffenheit untrennbar mit anderen Gütern vermischt wurden;
- zur Lieferung von Ton- oder Videoaufnahmen oder Computersoftware in einer versiegelten Packung, wenn die Versiegelung nach der Lieferung entfernt wurde.
Muster-Widerrufsformular
(Wenn Sie den Vertrag widerrufen wollen, dann füllen Sie bitte dieses Formular aus und senden Sie es zurück.)
-
An Thorsten Retsch, Oberölschnitz 16, 95517 Emtmannsberg, E-Mail-Adresse: mimpf2000@online.de :
-
Hiermit widerrufe(n) ich/ wir () den von mir/ uns () abgeschlossenen Vertrag über den Kauf der folgenden Waren ()/
die Erbringung der folgenden Dienstleistung () -
Bestellt am ()/ erhalten am ()
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Name des/ der Verbraucher(s)
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Anschrift des/ der Verbraucher(s)
-
Unterschrift des/ der Verbraucher(s) (nur bei Mitteilung auf Papier)
-
Datum
(*) Unzutreffendes streichen.
Allgemeine Geschäftsbedingungen und Kundeninformationen/Datenschutzerklärung
I. Allgemeine Geschäftsbedingungen
§ 1 Grundlegende Bestimmungen
(1) Die nachstehenden Geschäftsbedingungen gelten für Verträge, die Sie mit uns als Anbieter (Thorsten Retsch) über die Internetplattformen AbeBooks und/oder ZVAB schließen. Soweit nicht anders vereinbart, wird der Einbeziehung gegebenenfalls von Ihnen verwendeter eigener Bedingungen widersprochen.
(2) Verbraucher im Sinne der nachstehenden Regelungen ist jede natürliche Person, die ein Rechtsgeschäft zu Zwecken abschließt, die überwiegend weder ihrer gewerblichen noch ihrer selbständigen beruflichen Tätigkeit zugerechnet werden kann. Unternehmer ist jede natürliche oder juristische Person oder eine rechtsfähige Personengesellschaft, die bei Abschluss eines Rechtsgeschäfts in Ausübung ihrer selbständigen beruflichen oder gewerblichen Tätigkeit handelt.
§ 2 Zustandekommen des Vertrages
(1) Gegenstand des Vertrages ist der Verkauf von Waren .
(2) Wird ein Artikel von uns bei AbeBooks oder ZVAB eingestellt, liegt in der Freischaltung der Angebotsseite bei AbeBooks oder ZVAB das verbindliche Angebot zum Abschluss eines Vertrages zu den in der Artikelseite enthaltenen Bedingungen.
(3) Der Vertrag kommt über das Online-Warenkorbsystem wie folgt zustande:
Die zum Kauf beabsichtigten Waren werden im "Warenkorb" abgelegt. Über die entsprechende Schaltfläche in der Navigationsleiste können Sie den "Warenkorb" aufrufen und dort jederzeit Änderungen vornehmen.
Nach Aufrufen der Seite "Kasse" und der Eingabe der persönlichen Daten sowie der Zahlungs- und Versandbedingungen werden abschließend nochmals alle Bestelldaten auf der Bestellübersichtsseite angezeigt.
Vor Absenden der Bestellung haben Sie die Möglichkeit, hier sämtliche Angaben nochmals zu überprüfen, zu ändern (auch über die Funktion "zurück" des Internetbrowsers) bzw. den Kauf abzubrechen.
Mit dem Absenden der Bestellung über die Schaltfläche "Jetzt kaufen" erklären Sie rechtsverbindlich die Annahme des Angebotes, wodurch der Vertrag zustande kommt.
(4) Die Abwicklung der Bestellung und Übermittlung aller im Zusammenhang mit dem Vertragsschluss erforderlichen Informationen erfolgt per E-Mail zum Teil automatisiert. Sie haben deshalb sicherzustellen, dass die von Ihnen bei uns hinterlegte E-Mail-Adresse zutreffend ist, der Empfang der E-Mails technisch sichergestellt und insbesondere nicht durch SPAM-Filter verhindert wird.
§ 3 Zurückbehaltungsrecht, Eigentumsvorbehalt
(1) Ein Zurückbehaltungsrecht können Sie nur ausüben, soweit es sich um Forderungen aus demselben Vertragsverhältnis handelt.
(2) Die Ware bleibt bis zur vollständigen Zahlung des Kaufpreises unser Eigentum.
§ 4 Gewährleistung
(1) Es bestehen die gesetzlichen Mängelhaftungsrechte.
(2) Soweit Sie vor Abgabe der Vertragserklärung durch uns darüber in Kenntnis gesetzt werden und dies ausdrücklich und gesondert vereinbart wurde, beträgt die Verjährungsfrist für Mängelansprüche bei gebrauchten Waren ein Jahr ab Ablieferung der Ware. Die vorstehende Einschränkung gilt nicht:
- für uns zurechenbare schuldhaft verursachte Schäden aus der Verletzung des Lebens, des Körpers oder der Gesundheit und bei vorsätzlich oder grob fahrlässig verursachten sonstigen Schäden;
- soweit wir den Mangel arglistig verschwiegen oder eine Garantie für die Beschaffenheit der Ware übernommen haben.
(3) Als Verbraucher werden Sie gebeten, die Ware bei Lieferung umgehend auf Vollständigkeit, offensichtliche Mängel und Transportschäden zu überprüfen und uns sowie dem Spediteur Beanstandungen schnellstmöglich mitzuteilen. Kommen Sie dem nicht nach, hat dies keine Auswirkung auf Ihre gesetzlichen Gewährleistungsansprüche.
(4) Soweit ein Merkmal der Ware von den objektiven Anforderungen abweicht, gilt die Abweichung nur dann als vereinbart, wenn Sie vor Abgabe der Vertragserklärung durch uns über selbige in Kenntnis gesetzt wurden und die Abweichung ausdrücklich und gesondert zwischen den Vertragsparteien vereinbart wurde.
§ 5 Rechtswahl
(1) Es gilt deutsches Recht. Bei Verbrauchern gilt diese Rechtswahl nur, soweit hierdurch der durch zwingende Bestimmungen des Rechts des Staates des gewöhnlichen Aufenthaltes des Verbrauchers gewährte Schutz nicht entzogen wird (Günstigkeitsprinzip).
(2) Die Bestimmungen des UN-Kaufrechts finden ausdrücklich keine Anwendung.
II. Kundeninformationen
- Identität des Verkäufers
Thorsten Retsch
Oberölschnitz 16
95517 Emtmannsberg
Deutschland
Telefon: 092092023188
E-Mail: order@buchversandmimpf2000.de
Wir sind nicht bereit und nicht verpflichtet, an Streitbeilegungsverfahren vor Verbraucherschlichtungsstellen teilzunehmen.
- Informationen zum Zustandekommen des Vertrages
Die technischen Schritte zum Vertragsschluss, der Vertragsschluss selbst und die Korrekturmöglichkeiten erfolgen nach Maßgabe der Regelungen "Zustandekommen des Vertrages" unserer Allgemeinen Geschäftsbedingungen (Teil I.).
- Vertragssprache, Vertragstextspeicherung
3.1. Vertragssprache ist deutsch .
3.2. Der vollständige Vertragstext wird von uns nicht gespeichert. Vor Absenden der Bestellung können die Vertragsdaten über die Druckfunktion des Browsers ausgedruckt oder elektronisch gesichert werden. Nach Zugang der Bestellung bei uns werden die Bestelldaten, die gesetzlich vorgeschriebenen Informationen bei Fernabsatzverträgen und die Allgemeinen Geschäftsbedingungen nochmals per E-Mail an Sie übersandt.
- Wesentliche Merkmale der Ware oder Dienstleistung
Die wesentlichen Merkmale der Ware und/oder Dienstleistung finden sich im jeweiligen Angebot.
- Preise und Zahlungsmodalitäten
5.1. Die in den jeweiligen Angeboten angeführten Preise sowie die Versandkosten stellen Gesamtpreise dar. Sie beinhalten alle Preisbestandteile einschließlich aller anfallenden Steuern.
5.2. Die anfallenden Versandkosten sind nicht im Kaufpreis enthalten. Sie sind über eine entsprechend bezeichnete Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot aufrufbar, werden im Laufe des Bestellvorganges gesondert ausgewiesen und sind von Ihnen zusätzlich zu tragen, soweit nicht die versandkostenfreie Lieferung zugesagt ist.
5.3. Erfolgt die Lieferung in Länder außerhalb der Europäischen Union können von uns nicht zu vertretende weitere Kosten anfallen, wie z.B. Zölle, Steuern oder Geldübermittlungsgebühren (Überweisungs- oder Wechselkursgebühren der Kreditinstitute), die von Ihnen zu tragen sind.
5.4. Entstandene Kosten der Geldübermittlung (Überweisungs- oder Wechselkursgebühren der Kreditinstitute) sind von Ihnen in den Fällen zu tragen, in denen die Lieferung in einen EU-Mitgliedsstaat erfolgt, die Zahlung aber außerhalb der Europäischen Union veranlasst wurde.
5.5. Die Ihnen zur Verfügung stehenden Zahlungsarten sind unter einer entsprechend bezeichneten Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot ausgewiesen.
5.6. Soweit bei den einzelnen Zahlungsarten nicht anders angegeben, sind die Zahlungsansprüche aus dem geschlossenen Vertrag sofort zur Zahlung fällig.
- Lieferbedingungen
6.1. Die Lieferbedingungen, der Liefertermin sowie gegebenenfalls bestehende Lieferbeschränkungen finden sich unter einer entsprechend bezeichneten Schaltfläche auf unserer Internetpräsenz oder im jeweiligen Angebot.
Soweit im jeweiligen Angebot oder unter der entsprechend bezeichneten Schaltfläche keine andere Frist angegeben ist, erfolgt die Lieferung der Ware innerhalb von 3-5 Tagen nach Vertragsschluss (bei vereinbarter Vorauszahlung jedoch erst nach dem Zeitpunkt Ihrer Zahlungsanweisung).
6.2. Soweit Sie Verbraucher sind, ist gesetzlich geregelt, dass die Gefahr des zufälligen Untergangs und der zufälligen Verschlechterung der verkauften Sache während der Versendung erst mit der Übergabe der Ware an Sie übergeht, unabhängig davon, ob die Versendung versichert oder unversichert erfolgt. Dies gilt nicht, wenn Sie eigenständig ein nicht vom Unternehmer benanntes Transportunternehmen oder eine sonst zur Ausführung der Versendung bestimmte Person beauftragt haben.
- Gesetzliches Mängelhaftungsrecht
Die Mängelhaftung richtet sich nach der Regelung "Gewährleistung" in unseren Allgemeinen Geschäftsbedingungen (Teil I).
letzte Aktualisierung: 22.10.2024
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