Laser Processing of Thin Films and Microstructures. Oxidation, Deposition and Etching of Insulators. (=Springer Series in Materials Science; 3).

Boyd, Ian W.

Published by Springer Berlin 1987

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Bibliographic Details

• Title: Laser Processing of Thin Films and Microstructures. Oxidation, Deposition and Etching of Insulators. (=Springer Series in Materials Science; 3).
• Publisher: Springer Berlin 1987
• Binding: Soft cover
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  • Naturwissenschaften