Mikrosystemtechnik Vom Transistor zum Biochip

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik ?ber die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit gro?er Wirkung: die einzelnen Komponenten k?nnen einige Mikrometer gro? sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erl?utert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zuk?nftigen Trends dieser Schl?sseltechnologie ein. De Gewicht in Gramm: 187.