Optical Inspection of Microsystems, Second Edition Wolfgang Osten
Language: English
Published by CRC Press, 2019
- Hardcover
- Used

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Optical Inspection of Microsystems, Second Edition In englischer Sprache. pages.
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- Title
- Optical Inspection of Microsystems, Second Edition Wolfgang Osten
- Author
- Wolfgang Osten
- Publisher
- CRC Press
- Publication year
- 2019
- Condition
- gut
- Binding
- Hardcover
- Language
- English
- ISBN 10
- 1498779476
- ISBN 13
- 9781498779470
- Edition
- 2019.
- Item weight
- 2,000 grams
Where conventional testing and inspection techniques fail at the microscale, optical techniques provide a fast, robust, noninvasive, and relatively inexpensive alternative for investigating the properties and quality of microsystems. Speed, reliability, and cost are critical factors in the continued scale-up of microsystems technology across many industries, and optical techniques are in a unique position to satisfy modern commercial and industrial demands.
Optical Inspection of Microsystems, Second Edition, extends and updates the first comprehensive survey of the most important optical measurement techniques to be successfully used for the inspection of microsystems. Under the guidance of accomplished researcher Wolfgang Osten, expert contributors from industrial and academic institutions around the world share their expertise and experience with techniques such as image processing, image correlation, light scattering, scanning probe microscopy, confocal microscopy, fringe projection, grid and moire techniques, interference microscopy, laser-Doppler vibrometry, digital holography, speckle metrology, spectroscopy, and sensor fusion technologies. They also examine modern approaches to data acquisition and processing, such as the determination of surface features and the estimation of uncertainty of measurement results. The book emphasizes the evaluation of various system properties and considers encapsulated components to increase quality and reliability. Numerous practical examples and illustrations of optical testing reinforce the concepts.
Supplying effective tools for increased quality and reliability, this book
- Provides a comprehensive, up-to-date overview of optical techniques for the measurement and inspection of microsystems
- Discusses image correlation, displacement and strain measurement, electro-optic holography, and speckle metrology techniques
- Offers numerous practical examples and illustrations
- Includes calibration of optical measurement systems for the inspection of MEMS
- Presents the characterization of dynamics of MEMS
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About the Author
Wolfgang Osten earned an MSc/Diploma in physics at Friedrich Schiller University Jena in 1979. From 1979 to 1984 he was a member of the Institute of Mechanics in Berlin, working in the field of experimental stress analysis and optical metrology. In 1983 he earned a PhD at the Martin Luther University Halle-Wittenberg for his thesis in the field of holographic interferometry. From 1984 to 1991 he was employed at the Central Institute of Cybernetics and Information Processes ZKI in Berlin, making investigations in digital image processing and computer vision. Between 1988 and 1991 he headed the Institute for Digital Image Processing at ZKI. From 1991 to 2002 he joined the Bremen Institute of Applied Beam Technology (BIAS) to establish and direct the Department of Optical 3D-Metrology. From September 2002 to October 2018 he was a full professor at the University of Stuttgart and director of the Institute for Applied Optics. From 2006 to 2010 he was the vice rector for research and technology transfer at Stuttgart University, and from 2015 to 2018 he was the vice chair of the university council. His research is focused on new concepts for industrial inspection and metrology by combining modern principles of optical metrology, sensor technology, and image processing. He directs special attention to the development of resolution-enhanced technologies for the investigation of micro- and nanostructures.
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Terms of sale
Allgemeine Geschäfts- und Lieferbedingungen
-
Allgemeines - Geltungsbereich
-
Vertragsschluss
-
Eigentumsvorbehalt
-
Vergütung
-
Gefahrübergang
-
Gewährleistung
-
Haftungsbeschränkungen und -freistellung
-
Datenschutz
-
Schlussbestimmungen
-
Allgemeines - Geltungsbereich
1.1. Die folgenden Allgemeinen Geschäftsbedingungen gelten für alle Geschäftsbeziehungen zwischen uns und unseren Kunden. Maßgeblich ist jeweils die zum Zeitpunkt des Vertragsschlusses gültige Fassung.
1.2. Verbraucher i. S. d. Geschäftsbedingungen sind natürliche Personen, mit denen wir in Geschäftsbeziehung treten, ohne dass diesen eine gewerbliche oder selbständige berufliche Tätigkeit zugerechnet werden kann. Unternehmer i. S. d. Geschäftsbedingungen sind natürliche oder juristische Personen oder rechtsfähige Personengesellschaften, mit denen wir in Geschäftsbeziehungen treten und die in Ausübung einer gewerblichen oder selbständigen beruflichen Tätigkeit handeln. Kunde i. s. d. Geschäftsbedingungen sind sowohl Verbraucher als auch Unternehmer.
1.3. Abweichende, entgegenstehende oder ergänzende Allgemeine Geschäftsbedingungen werden, selbst bei Kenntnis, nicht Vertragsbestandteil, es sei denn, ihrer Geltung wird ausdrücklich schriftlich zugestimmt.
- Vertragsschluss
2.1. Unsere Angebote sind freibleibend und stehen unter der Bedingung, dass das Produkt unsererseits noch vorrätig oder lieferbar ist.
2.2. Mit der Bestellung erklärt der Kunde verbindlich sein Vertragsangebot. Wir werden den Zugang der Bestellung des Kunden bestätigen. Die Zugangsbestätigung stellt noch keine verbindliche Annahme der Bestellung dar. Die Zugangsbestätigung kann mit der Annahmeerklärung verbunden werden.
2.3. Wir sind berechtigt, das in der Bestellung liegende Vertragsangebot innerhalb von sieben Werktagen nach Eingang bei uns anzunehmen. Wir sind berechtigt, die Annahme der Bestellung - etwa nach Prüfung der Bonität des Kunden - abzulehnen.
- Eigentumsvorbehalt
3.1. Bei Verbrauchern behalten wir uns das Eigentum an der Ware bis zur vollständigen Zahlung des Kaufpreises vor. Bei Unternehmern behalten wir uns das Eigentum an der Ware bis zur vollständigen Begleichung aller Forderungen aus einer laufenden Geschäftsbeziehung vor.
3.2. Wir sind berechtigt, bei vertragswidrigem Verhalten des Kunden, insbesondere bei Zahlungsverzug oder bei Verletzung einer Pflicht nach Ziff. 2 und 3 dieser Bestimmung vom Vertrag zurückzutreten und die Ware herauszuverlangen.
3.3. Der Unternehmer ist berechtigt, die Ware im ordentlichen Geschäftsgang weiterzuveräußern. Er tritt uns bereits jetzt alle Forderungen in Höhe des Rechnungsbetrags ab, die ihm durch die Weiterveräußerung gegen einen Dritten erwachsen. Wir nehmen die Abtretung an. Nach der Abtretung ist der Unternehmer zur Einziehung der Forderung ermächtigt. Wir behalten uns vor, die Forderung selbst einzuziehen, sobald der Unternehmer seinen Zahlungsverpflichtungen nicht ordnungsgemäß nachkommt und in Zahlungsverzug gerät.
- Vergütung
4.1. Der angebotene Preis ist bindend. Im Preis ist die gesetzliche Umsatzsteuer enthalten. Beim Versendungskauf versteht sich der Preis zuzüglich einer Versandkostenpauschale. Dem Kunden entstehen bei Bestellung durch Nutzung der Fernkommunikationsmittel keine zusätzlichen Kosten. Der Kunde kann die Bezahlung über eine der angebotenen Zahlungsarten leisten. Wir behalten uns das Recht vor, einzelne Zahlungsarten auszuschließen.
4.2. Der Kunde verpflichtet sich, nach Erhalt der Leistung innerhalb von 10 Tagen den Preis zu zahlen. Nach Ablauf dieser Frist kommt der Kunde in Zahlungsverzug. Der Verbraucher hat während des Verzugs die Geldschuld in Höhe von 5 % über dem Basiszinssatz zu verzinsen. Der Unternehmer hat während des Verzugs die Geldschuld in Höhe von 8 % über dem Basiszinssatz zu verzinsen. Gegenüber dem Unternehmer behalten wir uns vor, einen höheren Verzugszinsschaden nachzuweisen und geltend zu machen.
4.3. Der Kunde hat ein Recht zur Aufrechnung nur, wenn seine Gegenansprüche rechtskräftig festgestellt wurden und oder durch uns anerkannt wurden. Der Kunde kann ein Zurückbehaltungsrecht nur ausüben, wenn sein Gegenanspruch auf demselben Vertragsverhältnis beruht.
- Gefahrübergang
5.1. Bei Verbrauchern geht die Gefahr des zufälligen Untergangs und der zufälligen Verschlechterung der verkauften Ware auch beim Versendungskauf mit der Übergabe der Ware auf diesen über.
5.2. Bei Unternehmern geht die Gefahr des zufälligen Untergangs und der zufälligen Verschlechterung der Ware mit der Auslieferung der Ware an den Spediteur, den Frachtführer oder der sonst zur Ausführung der Versendung bestimmten Person oder Anstalt auf den Unternehmer über. Der Übergabe steht es gleich, wenn der Kunde im Verzug der Annahme ist.
- Gewährleistung
6.1. Verbraucher haben die Wahl, ob die Nacherfüllung durch Nachbesserung oder Ersatzlieferung erfolgen soll. Wir sind berechtigt, die Art der gewählten Nacherfüllung zu verweigern, wenn sie nur mit unverhältnismäßigen Kosten möglich ist und die andere Art der Nacherfüllung ohne erhebliche Nachteile für den Verbraucher bleibt.
Bei Unternehmen leisten wir für Mängel der Ware zunächst nach unserer Wahl Gewähr durch Nachbesserung oder Ersatzlieferung.
6.2. Schlägt die Nacherfüllung fehl, oder ist diese aufgrund der Eigenarten der bestellten Ware nicht möglich, kann der Kunde grundsätzlich nach seiner Wahl Herabsetzung oder Vergütung (Minderung), Rückgängigmachung des Vertrags (Rücktritt) oder Schadensersatz statt der Leistung verlangen. Wählt der Kunde Schadensersatz statt der Leistung, so gelten die Haftungsbeschränkungen gemäß § 8 Ziff. 1 und 2. Bei nur geringfügigen Mängeln, steht dem Kunden jedoch kein Rücktrittsrecht zu.
6.3. Unternehmer müssen uns offensichtliche Mängel innerhalb einer Frist von einer Woche ab Empfang der Ware schriftlich anzeigen; andernfalls ist die Geltendmachung des Gewährleistungsanspruches ausgeschlossen. Zur Fristwahrung genügt die rechtzeitige Absendung. Den Unternehmer trifft die volle Beweislast für sämtliche Anspruchsvoraussetzungen, insbesondere für den Mangel selbst, für den Zeitpunkt der Feststellung des Mangels und für die Rechtzeitigkeit der Mängelrüge.
6.4. Die Gewährleistung für Verbraucher beträgt für gebrauchte Waren ein Jahr ab Ablieferung der Ware, für neue Waren gilt die gesetzliche Gewährleistungsfrist. Die Gewährleistungsfrist für Unternehmer beträgt ein Jahr ab Ablieferung der Ware. Bei gebrauchten Sachen beträgt die Gewährleistungsfrist ein Jahr ab Ablieferung der Ware. Die einjährige Gewährleistungsfrist gilt nicht, wenn uns grobes Verschulden vorwerfbar ist sowie im Falle von uns zurechenbaren Körper- und Gesundheitsschäden und bei Verlust des Lebens des Kunden. Unsere Haftung nach dem Produkthaftungsgesetz bleibt hiervon unberührt.
- Haftungsbeschränkungen und -freistellung
7.1. Wir haften außer bei der Verletzung wesentlicher Vertragspflichten nur, wenn und soweit unseren gesetzlichen Vertretern und Erfüllungsgehilfen Vorsatz oder grobe Fahrlässigkeit zur Last fällt. Sofern nicht Vorsatz oder grobe Fahrlässigkeit vorliegen, ist unsere Haftung auf den Schaden begrenzt, der bei Vertragsschluss typischerweise vorhersehbar war.
7.2 Der vorgenannte Haftungsausschluss bzw. Beschränkung gelten nicht, sofern und soweit wir bestimmte Eigenschaften zugesichert oder Garantien ausgesprochen haben. Sie gelten ferner nicht für Schäden aus der Verletzung des Lebens, des Körpers oder der Gesundheit sowie im Falle zwingender gesetzlicher Vorschriften.
- Datenschutz
8.1. Wir erheben, verarbeiten und nutzen die personenbezogenen Daten unserer Kunden lediglich zum Zwecke der ordnungsgemäßen Vertragsdurchführung im Rahmen der geltenden Datenschutzgesetze.
8.2. Abrechnungsdaten speichern wir höchstens bis zum Ablauf von 6 Monaten nach Versendung der Rechnung. Werden gegen die Entgeltforderungen Einwendungen erhoben oder diese trotz Zahlungsaufforderung nicht beglichen, dürfen die Abrechnungsdaten aufbewahrt werden, bis die Einwendung abschließend geklärt ist oder die Entgeltforderung beglichen ist. § 15 Abs. 8 Telemediengesetz (TMG) bleibt unberührt.
8.3. Personenbezogene Daten werden im Rahmen von Auftragsdatenverwaltung im Sinne des § 9 BDSG für uns von der mediantis AG verarbeitet. Die mediantis AG hat hierbei lediglich die Funktion eines technischen Dienstleisters, wir sind allein verantwortlich für die an uns übersandten Daten.
8.4. Sofern und soweit die Aufbewahrung der personenbezogenen Daten aufgrund bestehender rechtlicher oder steuerlicher Verpflichtungen erforderlich ist, werden diese Daten für den Zugriff zu anderen als den gesetzlich begründeten Zwecken gesperrt.
- Schlussbestimmungen
9.1. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland. Bei Verbrauchern, die den Vertrag nicht zu beruflichen oder gewerblichen Zwecken abschließen, gilt diese Rechtswahl nur insoweit, als nicht der gewährte Schutz durch zwingende Bestimmungen des Rechts des Staates, in dem der Verbraucher seinen gewöhnlichen Aufenthalt hat, entzogen wird.
Die Bestimmungen des UN-Kaufrechts finden keine Anwendung.
9.2. Ist der Kunde Kaufmann, juristische Person des öffentlichen Rechts oder öffentlich-rechtliches Sondervermögen, ist ausschließlicher Gerichtsstand für alle Streitigkeiten aus diesem Vertrag unser Geschäftssitz. Dasselbe gilt, wenn der Kunde keinen allgemeinen Gerichtsstand in Deutschland hat oder Wohnsitz oder gewöhnlicher Aufenthalt zum Zeitpunkt der Klageerhebung nicht bekannt sind.
9.3. Sollten einzelne Bestimmungen des Vertrags mit dem Kunden einschließlich dieser Allgemeinen Geschäftsbedingung ganz oder teilweise unwirksam sein oder werden, so wird hierdurch die Gültigkeit der übrigen Bestimmungen nicht berührt.
Impressum:
BuchService Lars Lutzer - Einzelunternehmer - Anschrift: Lars Lutzer -Alte Landstr. 39- 23812 Wahlstedt/Schleswig-Holstein - TEL: +49 (0) 176 / 63887918 - Email: L.LUTZER(AT)LLU-BUCHSERVICE(PUNKT)DE , UID: DE277819159.
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Widerrufsrecht für Verbraucher
Verbrauchern steht ein Widerrufsrecht nach folgender Maßgabe zu, wobei Verbraucher jede natürliche Person ist, die ein Rechtsgeschäft zu Zwecken abschließt, die überwiegend weder ihrer gewerblichen noch ihrer selbständigen beruflichen Tätigkeit zugerechnet werden können:
Widerrufsbelehrung
Widerrufsrecht
Sie haben das Recht, binnen vierzehn Tagen ohne Angabe von Gründen diesen Vertrag zu widerrufen. Die Widerrufsfrist beträgt vierzehn Tage ab dem Tag an dem Sie oder ein von Ihnen benannter Dritter, der nicht Beförderer ist, die Waren in Besitz genommen haben bzw. hat.
Um Ihr Widerrufsrecht auszuüben, müssen Sie uns: Lars Lutzer - Einzelunternehmer - Alte Landstr. 39- 23812 Wahlstedt, Deutschland /Germany- Email: L.LUTZER(AT)LLU-BUCHSERVICE(PUNKT)DE , TEL: +49 (0) 176 / 63887918 - UID: DE277819159 mittels einer eindeutigen Erklärung (z.B. ein mit der Post versandter Brief oder E-Mail) über Ihren Entschluss, diesen Vertrag zu widerrufen, informieren. Sie können dafür das beigefügte Muster-Widerrufsformular verwenden, das jedoch nicht vorgeschrieben ist.
Zur Wahrung der Widerrufsfrist reicht es aus, dass Sie die Mitteilung über die Ausübung des Widerrufsrechts vor Ablauf der Widerrufsfrist absenden.
Folgen des Widerrufs
Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, haben wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschließlich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zusätzlichen Kosten, die sich daraus ergeben, dass Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene, günstigste Standardlieferung gewählt haben), unverzüglich und spätestens binnen vierzehn Tagen ab dem Tag zurückzuzahlen, an dem die Mitteilung über Ihren Widerruf dieses Vertrags bei uns eingegangen ist. Für diese Rückzahlung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie bei der ursprünglichen Transaktion eingesetzt haben, es sei denn, mit Ihnen wurde ausdrücklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen wegen dieser Rückzahlung Entgelte berechnet.
Wir können die Rückzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zurückerhalten haben oder bis Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zurückgesandt haben, je nachdem, welches der frühere Zeitpunkt ist.
Sie haben die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens binnen vierzehn Tagen ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an uns zurückzusenden oder zu übergeben. Die Frist ist gewahrt, wenn Sie die Waren vor Ablauf der Frist von vierzehn Tagen absenden. Sie tragen die unmittelbaren Kosten der Rücksendung der Waren.
Sie müssen für einen etwaigen Wertverlust der Waren nur aufkommen, wenn dieser Wertverlust auf einen zur Prüfung der Beschaffenheit, Eigenschaften und Funktionsweise der Waren nicht notwendigen Umgang mit ihnen zurückzuführen ist.
Muster-Widerrufsformular
(Wenn Sie den Vertrag widerrufen wollen, dann füllen Sie bitte dieses Formular aus und senden Sie es zurück.)
– An Lars Lutzer, Alte Landstr. 39, 23812 Wahlstedt, Deutschland, E-Mail: L.LUTZER(AT)LLU-BUCHSERVICE(PUNKT)DE:
– Hiermit widerrufe(n) ich/wir (*) den von mir/uns (*) abgeschlossenen Vertrag über den Kauf der folgenden Waren (*)/die Erbringung der folgenden Dienstleistung (*)
– Bestellt am (*)/erhalten am (*)
– Name des/der Verbraucher(s)
– Anschrift des/der Verbraucher(s)
– Unterschrift des/der Verbraucher(s) (nur bei Mitteilung auf Papier)
– Datum
(*) Unzutreffendes streichen.