she pin ci kong jian du cheng chang yang hua mei bo mo ji qi ying yong yu zha ji jie dian ceng te xing yan jiu

Hou Yan Cao

ISBN 10: 3639739396 / ISBN 13: 9783639739398

Published by ¿¿¿¿¿¿¿ Jul 2015, 2015

About this Item

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Seller Inventory # 9783639739398

Bibliographic Details

• Title: she pin ci kong jian du cheng chang yang hua mei bo mo ji qi ying yong yu zha ji jie dian ceng te xing yan jiu
• Publisher: ¿¿¿¿¿¿¿ Jul 2015
• Publication Date: 2015
• ISBN 10: 3639739396
• ISBN 13: 9783639739398
• Binding: Taschenbuch
• Condition: Neu
• Dimensions: 220W x 150H x 8D millimeters 220 millimeters width by 150 millimeters height by 8 millimeters depth
• Weight: 203 grams

About this title

Synopsis

本研究利用射頻磁控濺鍍法成長氧化鎂(MgO)薄膜於矽(Si)基板上。並由X 光光電子能譜儀(X-ray photoelectron spectroscopy)、掃描式電子顯微鏡(Scanning electron microscope)、二次離子質譜儀(Secondary ion mass spectrometer)和橢圓儀(Ellipsometer)等儀器對MgO薄膜進行結構及光學特性量測，而半導體特性分析儀則對以MgO當作閘極氧化層的不同功函數閘極電極與不同摻雜濃度Si基板之金屬-氧化物-半導體(Metal-oxide-semiconductor，簡稱MOS)元件進行電特性的量測。由實驗結果可知，在光學特性方面，MgO薄膜與Si基板之間存在界面缺陷層。在電特性方面，利用MOS元件的變溫電流-電壓(Current-voltage)特性曲線，研究載子傳輸的相關機制，藉此來探討MgO薄膜內部的載子捕捉/釋放與相關缺陷能階的位置。再由變頻的電容-電壓(Capacitance-voltage)特性曲線量測MgO薄膜的相對介電常數，最後與載子傳輸機制所計算的結果互相比較。

About the Author

我出生在一個小康的家庭中,有一個活潑的妹妹和個性開朗又善良的爸爸媽媽。家訓是:盡力去做，不要做會讓自己後悔的事。對於我自己，也都要求能夠做到這點。在大學就讀於物理系，也因此產生了濃厚的學習興趣，因為宇宙萬物是非常奧妙的，尺寸的大小會讓物體產生不同的形態與變化，這也深深震驚了我。後來在接觸到半導體相關課程時，進一步了解原來日常生活中隨手可得的電子產品都是需要相當龐大的零件組成，所以電子產品要能夠正常操作，勢必需要很多相關的半導體知識。在大學時深感這方面的知識不夠充實，所以在就讀研究所時，特別針對光電相關科系來努力，希望能夠更深入了解這些元件背後所代表的物理意義與機制,