24 cm. XXVI, 519 p. Hardcover. Versand aus Deutschland / We dispatch from Germany via Air Mail. Einband besto�en, daher M�ngelexemplar gestempelt, sonst sehr guter Zustand. Imperfect copy due to slightly bumped cover, apart from this in very good condition. Stamped. Sprache: Englisch.

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Bibliographic Details

Title

Micro and Nano Fabrication. Tools and Processes.

Publisher

Heidelberg/New York, NY/Dordrecht/London/Berlin, Springer.

Publication Date

2015

Language

English

ISBN 10

3662443945

ISBN 13

9783662443941

Binding

Hardcover

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Technik

About this title

Synopsis

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

About the Author

Hans Gatzen received a PhD equivalent in Mechanical Engineering from the RWTH Aachen in Aachen, Germany, and held various positions in the computer peripherals industry in Germany and the U.S. from 1973 to 1992. In 1992, he founded the Institute for Microtechnology (imt) at the Hanover University in Hanover, Germany (now Leibniz Universit�t Hannover) and was its director until his retirement in 2010. He is a Fellow of the American Society of Mechanical Engineers (ASME) and a member of Acatech (National Academy of Science and Engineering).

Volker Saile received a PhD in Physics from the Ludwigs-Maximilians-Universitaet M�nchen (LMU), and was later employed as a Staff Scientist at the Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY in Hamburg, Germany, until 1989. From 1989 to 1998, he served as the Director of the J. Bennett Johnston, Sr., Center for Advanced Microstructures and Devices (CAMD), Baton Rouge, Louisana, USA. Since 1998, he is Professor of Microstructure Technology at the Karlsruhe Institute of Technology (KIT). Currently, he serves as Head of the KIT Division 5, Physics and Mathematics.

Juerg Leuthold is the head of the Institute of Electromagnetic Fields (IEF) at ETH Zurich, Switzerland. His research interests are in the field of nano-photonics, plasmonics, integrated optics and optical communications. From 2004 to 2013 he was a full Professor at the Karlsruhe Institute of Technology (KIT) in Germany and from 1999 to 2004 he was affiliated with Bell Labs,

Lucent Technologies.

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Das Antiquariat im Hufelandhaus geh�rt zu den groessten wissenschaftlichen Antiquariaten in Europa. Wir sind als Mitglied des Verbandes Deutscher Antiquare regelm�ssig auf Antiquariatsmessen vertreten. Der umfangreiche Bestand, ca. 40.000 B�cher, hat seinen Schwerpunkt in der Medizin des 19. Jahrhunderts. J�hrlich erscheinen 8-10 Antiquariatskataloge zu einzelnen Sachgebieten. Diese Kataloge stellen jeweils nur eine Auswahl aus unseren Buchbest�nden dar. Desweiteren erscheint j�hrlich der Preiskatalog mit den zur�ckliegenden Jahrg�ngen/Back Volumes der Zeitschriften des wissenschaftlichen Springer-Verlages. Wir sind jederzeit am Ankauf von Bibliotheken und Einzelwerken interessiert. Auf Wunsch erfolgt eine Besichtigung vor Ort. Antiquariat im Hufelandhaus GmbH HRB 80262 B, Amtsgericht Berlin-Charlottenburg Ust.Id.Nr. DE 222395865

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