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Published by Cuvillier Verlag 2015-04-28, 2015
ISBN 10: 3954049880 ISBN 13: 9783954049882
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Taschenbuch. Condition: Neu. Electrical characterization of transition metals in silicon: | a study on titanium, cobalt, and nickel and their interaction with hydrogen | Leopold Scheffler | Taschenbuch | 124 S. | Englisch | 2015 | Cuvillier | EAN 9783954049882 | Verantwortliche Person für die EU: Cuvillier Verlag, Nonnenstieg 8, 37075 Göttingen, info[at]cuvillier[dot]de | Anbieter: preigu.
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Published by Hachette Livre - BNF Mär 2018, 2018
ISBN 10: 2019996715 ISBN 13: 9782019996710
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Published by Eds Maloine, ?Paris 1939, 1939
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Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Silizium ist ein wichtiger Rohstoff unserer modernen Welt. Mikroelektronik, Sensorik und Photovoltaik sind drei wichtige Anwendungsgebiete, die aus unserem täglichen Leben heute nicht mehr wegzudenken sind. Entscheidend für all diese Anwendungen ist das Verständnis der elektrischen Eigenschaften des Materials, welche durch Defekte und Verunreinigungen beeinflusst werden. Die Übergangsmetalle sind eine wichtige Klasse von Verunreinigungen im Silizium, da sie die elektrischen Eigenschaften stark beeinflussen. Auch ist bekannt, dass Wasserstoff, welcher in vielen Prozessen in Silizium eindringen kann, mit vielen Defekten reagiert. In der vorliegenden Dissertation wird die Wechselwirkung von Wasserstoff mit den Metallen Titan, Kobalt und Nickel mit Hilfe der kapazitiven Messmethoden DLTS und MCTS untersucht. Verschiedene elektrisch aktive Metall-Wasserstoff-Komplexe können nachgewiesen werden. Auch eine Passivierung der Metalle durch Wasserstoff wird beobachtet. Neben den Reaktionen mit den Metallen wird auch eine Wechselwirkung des Wasserstoffs mit im Silizium vorhandenem Kohlenstoff untersucht. Für eine Einordnung der Ergebnisse werden diese mit dem aus der Literatur bekannten Verhalten benachbarter Elemente verglichen. 124 pp. Englisch.